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四探针法

本专题涉及四探针法的标准有21条。

国际标准分类中,四探针法涉及到金属材料试验、有色金属、复合增强材料、长度和角度测量、半导体分立器件、试验条件和规程综合、半导体材料、农业和林业。

在中国标准分类中,四探针法涉及到金属物理性能试验方法、、氧化物、单质、电阻器、半金属与半导体材料综合、元素半导体材料。


国家质检总局,关于四探针法的标准

  • GB/T 1552-1995 硅、锗单晶电阻率测定直排四探针法
  • GB/T 14141-2009 硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定.直排四探针法

RU-GOST R,关于四探针法的标准

中国团体标准,关于四探针法的标准

河北省标准,关于四探针法的标准

  • DB13/T 5255-2020 石墨烯导电油墨方阻的测定 四探针法
  • DB13/T 5026.3-2019 石墨烯导电浆料物理性质的测定方法 第3部分:浆料极片电阻率的测定 四探针法

江苏省标准,关于四探针法的标准

  • DB32/T 4027-2021 石墨烯粉体电导率测定 动态四探针法
  • DB32/T 4378-2022 衬底表面纳米、亚微米尺度薄膜 方块电阻的无损测试 四探针法

国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会,关于四探针法的标准

  • GB/T 39978-2021 纳米技术 碳纳米管粉体电阻率 四探针法
  • GB/T 1551-2021 硅单晶电阻率的测定 直排四探针法和直流两探针法

美国材料与试验协会,关于四探针法的标准

  • ASTM F390-98(2003) 用共线四探针法对金属薄膜的薄膜耐力的试验方法
  • ASTM F390-11 用共线四探针法测定金属薄膜的薄膜电阻的标准试验方法

英国标准学会,关于四探针法的标准

SCC,关于四探针法的标准

韩国科技标准局,关于四探针法的标准

国际电工委员会,关于四探针法的标准

  • IEC TS 62607-6-1:2020 纳米制造关键控制特性第6-1部分:石墨烯基材料体积电阻率:四探针法

KR-KS,关于四探针法的标准

日本工业标准调查会,关于四探针法的标准

  • JIS H 0602:1995 用四点探针法对硅晶体和硅片电阻率的测试方法

四探针法四探针法 电阻用共线四探针法对金属薄膜的薄膜电阻的试验方法

 

可能用到的仪器设备

 

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北京冠测精电仪器设备有限公司

 

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