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この規格は,クリーンルーム及びクリーンルーム機器に用いる粒子捕集用のエアフィルタの性能試験方法について規定する。

Cleanroom -- Air filters -- Test methods

ICS
13.040.30;23.100.60
CCS
C46
发布
1999-03-20
实施



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