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聚焦离子束电子束双束显微镜DB500
优雅精“制” DB500拥有自主可控的场发射电子镜筒和“承影”离子镜筒,是一款优雅全能的纳米分析和制样工具。高压隧道技术(SuperTunnel)、低像差无漏磁物镜设计,低电压高分辨率成像,保证纳米分析能力。“承影”离子镜筒采用液态镓离子源,拥有高稳定、高质量的离子束流,保证纳米加工能力。集成式的纳米机械手、气体注入器、电子物镜防污染机构,拥有24个扩展口,配置全面,自主可控,扩展性强,为您打造全能纳米分析和加工中心。 离子镜筒"承影" 分辨率:3 nm@30 kV 探针电流:1 pA~50 nA 加速电压范围:500 V~30 kV 使用寿命:≥1000小时 长时间稳定性:72小时不间断工作 纳米机械手 仓内安装方式 三轴全压电驱动 步进精度≤10nm 最大移动速度2mm/s 集成式控制方式 离子束-电子束协同 气体注入器 单气体注入 多种气源可选 伸缩距离≥35 mm 重复定位精度≤10 um 加热温度控制精度≤0.1℃ 加热温度范围:室温~90℃ 集成式控制方式 产品优势 1.高压隧道技术和无漏磁物镜的电子镜筒,高分辨率成像,兼容磁性样品 2.“承影”离子镜筒,高稳定、高质量的离子束流,用于高质量纳米加工和TEM制样 3.样品仓内压电陶瓷驱动的机械手,集成式控制方式,操作精准到位 4.自主可控,扩展性强,集成化设计的离子源更换时间快,极致的售后服务,提供免费的三年质保无忧服务
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