多晶表面金属杂质测定方法

　　中华人民共和国国家标准

　　酸腐蚀-ICP-MS

　　测定多晶硅表面金属杂质

　　Test method for measuring surface metal contamination of polycrystaiine silicon by acid extraction-ICP-MS

　　中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局

　　中国国家标准化管理委员会

　　前 言

　　本标准等同采用SEMI MF-1724-1104，本标准与原标准相比，主要有如下变动：

　　——用等离子质谱仪代替了原标准的原子吸收光谱仪;

　　——对原文中的相关标准的浓度进行了修改，以适应等离子质谱仪的分析要求;

　　——对仪器的测试条件进行了修订。

　　本标准由中国有色金属工业总公司提出。

　　本标准由中国有色金属工业总公司归口。

　　本标准由新光硅业科技责任有限公司责修订。

　　本标准主要修改人: 、 、

　　本标准所首次发布