德国BMT SMS专家级测量系统（共聚焦原理）

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    SMS专家级测量系统（共聚焦原理）依据不同的需求配置不同的传感器：光谱传感器、三角测量传感器、白光干涉系统、共焦传感器、自聚焦传感器、触针式传感器。

视频: http://www.bhxytech.com/flv/SMS.wmv
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主要用途

◆  任何粗糙、光滑表面检查和测量（可选用不同的传感器）分析测试百科网|sn)w3h]M+B|
◆  用于金属片、纸、玻璃塑胶、晶片、刀具等行业分析测试百科网(a,W c#@B,W4W8o
◆  其他表面的微观形貌测量分析测试百科网P6Q6Qf.co
◆  微型机械元件的尺寸测量
)@'eqrlQ E*ng3r0◆  金相测量分析测试百科网 r5i+V-cFnH)cmw}
◆  微小或较大区域内直线度、平面度、台阶高度、粗糙度的测量计算

主要特点
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[#V#Xz0● 非接触测量表面形貌，2D/3D，垂直和横向尺寸测量；分析测试百科网 gA8fGt l7CE;L9~
● 粗糙和光滑表面测量；分析测试百科网'o+~ rJ&zNp^k
● 粗糙度参数测量，FFT，ACF，平面斜面及台阶高度测量；分析测试百科网%e[S4aL:qG0R
● 金属片，玻璃，塑料，晶片及其他物体的微观形貌；
x^TU1h/e~dT0● 表面反射率对测量结果无影响。

技术参数分析测试百科网OaW9G'NP#@'L+Wq
共聚焦显微镜头
Zr/o8j.?!d D2M0● 垂直测量范围 （mm）             1
Rr)V\y1pWw q0● 垂直分辨率     （nm）              30
1EF}3f&Q!?A0● 横向分辨率     （μm）              3
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K.? `},BKe0● 工作距离，约 （mm)                24
-c zJQ!`:y0Er0● 光斑尺寸，约 （μm)                 6
&e(`$ll'Wo0X{0● 测试频率       （kHz）              1～10

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● X、Y、Z轴   （mm）               50分析测试百科网1d&\/|1jJ I3@
● 步长              （μm）                0.5

     
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