进口德国BMT SMS 翘曲度和厚度测量系统

德国BMT SMS 翘曲度和厚度测量系统

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视频: 德国BMT SMS翘曲度和厚度测量系统分析测试百科网EC1l:J%` M"c:R#[

基础配置：分析测试百科网f|zcIf&y
        包含光学传感器、花岗岩基座、电动旋转平台和两个手动传感器调整台、控制系统和数据处理软件。
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ek'H nX.G(@t(E0工作原理：分析测试百科网Bx9v.Ns9M*O/p
       以同心圆的方式对样品进行扫描。上传感器固定在可移动的X轴上，样品固定在转台上。开始测量后，样品随转台开始转动，得到一条圆形轮廓线。然后X台移动位置，测量下一条轮廓线。测量结束后自动计算平整度/翘曲度参数。如果只测样品一个点的厚度，使用下面的传感器即可。可用不同测量程序应对不同的评估对象，用户可轻松保存和调取测量程序。

基础配置：分析测试百科网Z/m/]Q.t"v0O
        包含光学传感器、花岗岩基座，手动调整传感器测量高度的测量桥、电动X、Y移动台、控制系统和数据处理软件。分析测试百科网)OqsR'}zHA
工作原理：分析测试百科网?;j
B,fLk}Z ?dB,n
        使用两个传感器水平方向扫描样品表面。样品由XY台上的夹具进行固定。测量以预设的程序进行，自动计算平整度/翘曲度/厚度参数。可用不同测量程序应对不同的评估对象，用户可轻松保存和调取测量程序。

技术参数分析测试百科网"]fH~L9?2HA*xS6Q5B
X 台分析测试百科网b&]kM)Yo4|/C$~
位移 [mm]：150分析测试百科网h A%J)W] A2g5`
最小步长 [μm]    1分析测试百科网6Fw/Afv!c
相对平直度 (50mm/轴) [μm]      ± 1分析测试百科网\!j^|:c2HJ$k
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完整系统 (X + 旋转平台)
C"V$S[h0尺寸 H x W x D [mm]       400 x 500 x 400分析测试百科网N
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重量 [kg]        40
{RLB `8GB0电源 [V, Hz]       115 - 230, 50/60
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传感器CL (x2)分析测试百科网 ~'_7xzL|
测量范围 [μm]       300
5EOI'u)P.KYH0轴向分辨率 [nm]     12
-q k6Fuk0精度 [nm]       60分析测试百科网^-p,~[IfR_
工作距离 [mm]       11分析测试百科网(b4{mo:kVl
光斑尺寸 [μm]        3分析测试百科网v2Tcp,q7k
横向分辨率 [μm]     1.5分析测试百科网't DX1V+rJG
长度 (无光缆) [mm]    210
Y3J-K;F,X,D?"R1N+c_0最大倾斜角度 [°]      ± 28
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