一种纳米孔洞阵列金膜制备方法

《现代仪器》2008年03期   
 
  一种纳米孔洞阵列金膜制备方法
  李振;赵新颖;王覃;王卫宁
  　　以多孔阳极氧化铝膜(anodic aluminum oxide,AAO)为模板,用磁控溅射的方法制备纳米孔洞阵列金膜,SEM结果表明,制备得到的纳米孔洞阵列金膜形貌与AAO模板形貌一致,孔洞阵列规则,孔径大小均匀。此方法适合于纳米孔洞阵列金膜的复制,为纳米线、量子点等纳米阵列材料的组装与合成提供新的条件。
【作者单位】：北京市纳米光电子学重点实验室 首都师范大学物理系北京100037(李振;王卫宁);北京市理化分析测试中心 北京100089(赵新颖;王覃)
【关键词】：AAO;模板;磁控溅射;纳米孔洞阵列金膜;纳米复制
【分类号】：TB383.2
【DOI】：CNKI:SUN:XDYI.0.2008-03-011
【正文快照】：
　　引言??随着纳米科技的兴起,制备各种功能的纳米材料成为当今科技前沿的一大热点。模板合成法是近几年来人们合成纳米结构材料的一种常用方法。该方法是首先制备出具有纳米孔洞的模板,再应用物理或化学方法在纳米孔洞中生长或沉积纳米材料,阳极氧化铝(AAO,anodic aluminum oxide