金刚石研磨液配方

上一篇 / 下一篇 2012-11-04 09:48:56/ 个人分类：配方

禾川化工专业从事金刚石研磨液成分分析配方分析，成分分析，配方研制，为研磨液相关企业提供整套技术解决方案一站式服务。

金刚石研磨液配方

金刚石研磨液广泛应用于金属表面处理，禾川化工专业从事金刚石研磨液配方分析，成分分析，配方研制；禾川化工为研磨液相关企业提供整套技术解决方案一站式服务；苏州禾川化工新材料科技有限公司（简称：禾川技术），为企业，科研的生产研发提供专业化解决方案。禾川技术以苏州大学为产学研基地，融合了中科院有机所、应化所、浙江大学、南京大学、苏州大学、华东理工大学等多家科研机构与高校的外围专家博士团队，依托生物纳米科技园、苏州大学、中科院纳米所强大的仪器测试平台，凭借强大的科研实力，多年丰富的研发经验，共同建立化工材料分析中心，新材料研发中心。禾川技术致力于化工行业材料检测、材料分析、配方还原、新领域新材料的开发；推进新项目整体研发进度，缩短研发周期，推动化工产业自主研发的进程。

硅材料的制备包括定向切割、磨片、抛光等,其中切片之后要进行研磨, 研磨机的结构。由于切片之后的硅单晶片还不具有合乎半导体制造过程中所需要的曲度、平坦度与平行度, 又因为要求硅单晶片在抛光过程中表面磨除量仅约 5 μm,所以抛光无法大幅度改善硅单晶片的曲度与平行度。这使得研磨成为在硅单晶片抛光之前, 能够有效地改善硅片的曲度、平坦度与平行度的关键工艺。硅片经切割研磨后表面产生大量的机械损伤, 这些机械损伤可分为上下两层。上层的损伤层较薄, 约占厚度的 1/10, 包含细微裂纹和网络位错; 下层为弹性形变层。这些机械损伤若残留在硅片表面会在后来的工艺 (如氧化过程) 中将产生氧化诱导层错等缺陷。

切削液参考配方（仅供参考）

组分	质量比
妥尔油	4-8%
氯化石蜡	3-8%
PEG	1~3%
NP-10	4-8%
十二烷基苯磺酸钠	5-8%
石油磺酸钠	1-3%
三乙醇胺	1~2%
BHT	0~1%
二乙二醇丁醚	1~2%
柠檬酸	1~2%
有机硅消泡剂	0.1-0.5%
基础油	余量