4寸晶圆生产部分设备一览表

上一篇 / 下一篇  2013-10-10 16:31:48

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某大厂4寸晶圆生产部分设备一览表
4吋晶圆生产线部分设备清单
序号设备名称型号
1四探针测试仪SZ-82
2特气柜
3CVDAEC-2200
4CVD淋水槽WCSB-7
5CVD设备AEC-2200
6特气柜
7净化层流罩
8净化层流罩
9腐蚀清洗柜
10CVD除尘装置
11擦片机SVG88
12擦片机SVG88
13擦片机SVG8800
14甩干机AMT-06
15甩干机SG-09A
16双槽清洗机
17甩干机SG-07A
18甩干机SG-07A
19硅片转换器RAPITRAN-Ⅱ
20硅片转换器RAPITRAN-Ⅱ
21OAP烘箱HOCHECK
22传递窗
23风淋室
24匀胶机SVG-88
25光刻机PLA0501F
26光刻机PLA0501F
27光刻机PLA501
28光刻机PLA501F
29光刻机PLA501F
30光刻机PLA-501F
31光刻机PLA-501F
32光刻机PLA-501F
33光刻机PLA-501-FA
34光刻机PLA-50IF
35光刻机PLA-50IF
36光刻机PLA-50IF
37甩干机SG-07B
38涂胶机6000XL
39匀胶机SVG88
40真空烘箱HOCHECK
41SiO2腐蚀机GFQ-1
42SiO2腐蚀机
43铝腐蚀机
44甩干机KPDW1255-4SRD
45甩干机SG-07B
46自动去胶机
47扩散炉4104
48扩散炉4304
49扩散炉4304
50扩散炉4304
51扩散炉E2000
52炮筒升降机构
53硅片转换器RAPITRANⅡ
54硅片转换器RAPITRANⅡ
55扩散炉4104
56扩散炉4104
57扩散炉4104
58扩散炉4304
59扩散炉4304
60扩散炉4304
61甩干机AMT-06
62涂源机DNUNA700
63匀胶机SVG88
64匀胶显影机6000XL
65甩干机AMT-06
66双槽清洗机TAW-3B
67双槽清洗机TAW-3B
68扩散炉

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TAG: 4寸晶圆晶圆生产线晶圆设备

 

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  • 更新时间: 2013-12-07

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