金属中气体元素系指C,S,N,O,H.九十年代以前光电直读光谱仪只能分析C，S.。随着光谱加工工艺的提高，可用于远紫外的光电倍增管的问世以及人们对充惰性气体光学系统的重新认识与改进，使得近年来光电直读光谱气体元素分析有了很大发展。对比九十年代前后，各个气体元素的分析谱线(nm)如下：
以前碳只用193.09nm谱线测定，钢铁中检测限为5ppm，现在根据需要可使用165.70nm谱线，钢铁及铜中碳的检测限可达1ppm.
光电直读光谱分析氮是新的突破，开始用174.27nm谱线测量，由于测量稳定性差，而且只能分析高含量氮，很少用于实际分析，后来采用149.47nm谱线测定钢中氮，检测限可达5ppm.稳定性很好。
氧的光电直读光谱分析是近几年开展的，铜中检测限为10ppm，钢铁中为15ppm，光电直读光谱分析铁中氢检测限为8ppm.
目前用光电直读光谱进行超低碳分析，钢中氮分析，纯铜中碳、硫、氧分析，以及钦中氢的分析，已进人实用阶段.国内在钢中定氮，纯铜中定氧的工作也逐步开展起来。普通的光电倍增管强烈吸收远紫外谱线，因此用于测定氮、氧、氢的光电倍增管采用特殊的光学材料以减少本身对谱线的吸收.这些光电倍增管比普通型价格昂贵，因此仪器配置这些通道的价格也较一般的通道贵。
尽管直读光谱仪对气体元素的分析有了很大进展，但与专用的碳硫分析仪，氧氮分析仪及氢分析仪相比，在检测限方面仍有一定差距。
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