激光诱导等离子体技术(LIBS)在金薄膜加工微检测中的应用研究

上一篇 / 下一篇  2010-01-21 14:13:04

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　薄膜材料微加工是微纳技术、微机电系统、光电子领域的核心技术。文章提出了针对薄膜加工时缺乏有效的质量控制手段，应用激光诱导等离子体(LIBS)技术进行过程表征的方法。



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