扫描电子显微镜——JSM-6490LV型

　　扫描电子显微镜(SEM)技术，使人类观察微小物质的能力发生质的飞跃，依靠扫描电子显微镜的高分辨率、良好的景深和简易的操作方法，使扫描电子显微镜(SEM)迅速成为一种不可缺少的工具,并且广泛应用于科学研究和工程实践中。

　　

 

　　1.主要性能

　　扫描电镜是在加速高压作用下，将电子枪发射的电子经过多级电磁透镜汇集成细小的电子束。在试样表面进行扫描，激发出各种信息，通过对这些信息的接收、放大和显示成像，以便对试样表面进行分析。

　　2. 技术指标

　　分辨率： 小于3.0nm (30kV，高真空，钨灯丝，二次电子);

　　小于4.0nm(钨灯丝，背散射电子);

　　加速电压最小范围：0.5～30KV， 10V/步 ;

　　放大倍数范围：20～300,000 倍;

　　真空系统：高真空度：1.5×10-3Pa;低真空度：6～270Pa;

　　电子束扫描控制： 扫描模式：点、线、面、选区;

　　能谱仪Si(Li)探测器：分辨率优于133eV;

　　能谱探测器的有效面积：10mm2;

　　能谱元素分析范围：B5～U92。

　　3.应用范围

　　扫描电子显微镜广泛应用于医学、生物学、化工、地质、金属、陶瓷、半导体、纳米材料等各领域。扫描电子显微镜在材料的分析和研究方面应用十分广泛，主要应用于材料断口分析、微区成分分析、各种镀膜表面形貌分析、层厚测量和显微组织形貌及纳米材料分析等。随着材料科学和高科技的迅速发展，扫描电镜在得到较好的试样形貌像的前提下，同时得到成分信息和晶体学的信息，使得扫描电镜必将在材料工艺研究和品种开发等方面发挥更大的作用.

　　4.样品要求

　　样品必须是固体，且无毒、无放射性、无污染、无磁、无水分;成分稳定,块状样品大小要适中, 样品直径：小于200mm，样品高度：小于75mm;粉末样品要进行特殊处理;对不导电和导电性能差的样品要进行镀膜。