SEM/EDS

SEM:扫描电子显微镜，又名SEM，扫描电镜，是一种在真空下用电子束扫描样品表面，逐点激发二次电子信号，根据信号强度组成形貌照片，做高倍率的表面外观形貌观察的仪器。
主要用途：
1、外观形貌观察，放大1000倍~10万倍率，分辨率为1-2nm。2、与能谱仪联用，选定微小位置区域，探测元素成份与含量。3、加上相应探头，可以得到背散射电子像、被动电压衬度像，4、加上微机械探针，可以做成显微探针量取集成电路微小结构上的电流电压。
受限制因素：
样品大小受真空室限制，一般不能大于3厘米x3厘米x3厘米。极限，放大倍率1000~10万倍，对于金属样品可以更高，对于非金属等不导电的样品可能只能做到5万倍。
EDS能谱仪，又名显微电子探针，是一种分析物质元素的仪器，常与扫描电镜或者透射电镜联用，在真空室下用电子束轰击样品表面，激发物质发射出特征x射线，根据特征x射线的波长，定性与半定量分析元素周期表中Be以上的物质元素。
主要用途：
1、与扫描电镜或者透射电镜联用，选定微小位置区域，探测元素成份与含量，2、是失效分析当中对于微小痕量金属物质检测的最重要的检测手段。
3、是区分有机物与无机物的最简便的手段，对于有机物只要发现检出大量碳和氧元素，基本可以断定含有大量有机物。
受限制因素：
不能作液态、漂浮粉末、微绒类样品，切片固封树脂如果没有完全固化也不能做，以免发生漏气、漏夜、粘污等情况污染真空室。