能谱仪分析的几种分析模式

能谱仪有下列几种分析模式：
1、点分析：
    将电子探针固定在试样感兴趣的点上，进行定性或定量分析。该方法用于显微结构的成份分析，例如，对材料晶界、夹杂、析出相、沉淀物、奇异相及非化学计量材料的组成等分析。

2、线分析
    电子束沿一条分析线进行扫描(或试样扫
描) 时，能获得元素含量变化的线分布曲线。
如果和试样形貌像(二次电子像或背散射电子
像)对照分析,能直观地获得元素在不同相或
区域内的分布。
    沿感兴趣的线逐点测量成分，也可以划
出该线的成分变化曲线。
 
3、面分析
    将电子束在试样表面扫描时，元素在试样表面的分布能在CRT上以亮度分布显示出来（定性分析)，亮度越亮，说明元素含量越高。研究材料中杂质、相的分布和元素偏析常用此方法。面分布常常与形貌像对照分析。
    点、线、面分析方法用途不同，检测灵敏度也不同，定点分析灵敏度最高，面扫描分析灵敏度最低。