20210609 半导体材料及器件检测技术


2021年06月09日 09:00

2021年06月09日 12:10

金鹏,刘川,李超,潘广文,王志芳,夏文源,谈思涵

赛默飞色谱与质谱 奥林巴斯(中国)有限公司 雷尼绍(上海)贸易有限公司

化工  先进材料  


讲座已经结束,视频回放正在准备中,请稍后回来查看回放的讲座视频。

内容简介

半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料,在集成电路、光伏发电、信息通讯、微电子器件、照明等领域发挥着重要作用。最早是在19世纪发现的,随着信息载体从电子向光电子和光子转换,半导体的技术也在不断的改变和革新,人们对于半导体材料的研究并没有停止。无论从科技或是经济发展的角度来看,半导体的重要性都是非常巨大的。它是微电子、光电子和太阳能等工业的基石,而其电学性能、光学性能和机械性能将会影响半导体器件的性能和质量。因此,半导体的性能结构及其器件的分析,是半导体材料研究和开发的重要方面。

本次研讨会,分析测试百科网将邀请行业专家,与大家共同探讨半导体材料及器件检测技术,希望能对行业内工作者带来帮助和启发。

【日程安排

时间
报告人
单位
报告题目
09:00-09:30
金鹏
中国科学院半导体研究所
深紫外光谱仪及其在宽禁带半导体材料表征上的应用
09:30-10:00
潘广文
赛默飞
离子色谱在半导体行业的应用
10:00-10:30
王志芳
雷尼绍
雷尼绍拉曼光谱技术在半导体分析中的应用及进展
10:30-11:00
刘川
中山大学
薄膜晶体管测量中的问题与方法初探
11:00-11:30
李超
中国电子学会超导电子学分会
扫描近场光学显微技术在半导体材料表征领域应用的研究
11:30-11:50
夏文源
奥林巴斯
奥林巴斯光学显微镜和手持式荧光光谱仪在半导体行业的应用
11:50-12:10
谈思涵
奥林巴斯

【报告简介

深紫外光谱仪及其在宽禁带半导体材料表征上的应用

简要介绍发光光谱基本原理、实验方法、本实验室自主研制的深紫外发光谱仪及其在宽禁带半导体材料表征方面的应用。

离子色谱在半导体行业的应用

1. 离子色谱是采用高压输液泵,用流动相将样品带到色谱柱中,以离子交换方式分离,经抑制器抑制背景后进入电导检测中进行检测的一种分离检测方法,离子色谱检测的化合物是常见的七种阴离子(F-、Cl-、NO2-、Br-、NO3-、SO42-、PO43-)和六种阳离子(Li+、Na+、NH4+、K+、Mg2+、Ca2+)。

2.离子色谱在半导体行业的应用主要集中在超纯水、环境空气和湿电子化学品中,对于超纯水和环境空气中阴离子和铵根的检测可以达到ppt~ppb级别,满足半导体厂各个环节对超纯水和环境空气的要求。对氢氟酸、磷酸、异丙醇、NMP、双氧水、氨水、氢氧化钠等七大湿电子化学品中阴离子的检测达到ppb级别。目前离子色谱的应用还扩展到光刻胶等样品,是半导体行业不可或缺的检测手段。

雷尼绍拉曼光谱技术在半导体分析中的应用及进展

半导体材料和器件的性能及稳定性往往与材料本身的性质联系在一起,包括材料应力、缺陷、杂质、载流子浓度还有温度响应等等。拉曼光谱检测可以获得以上半导体材料的信息,并且拉曼光谱还具有速度快、无需制样、无损伤等表征优势,可以同时获得静态及动态变化中的结构信息,已经成为半导体材料表征和器件测试的一个重要手段。本次报告主要介绍雷尼绍拉曼技术在半导体领域的应用方向和相关案例,同时分享适用于半导体领域的拉曼技术的发展和应用。

薄膜晶体管测量中的问题与方法初探

基于新型半导体薄膜(有机、二维、氧化物、钙钛矿等)的晶体管器件,表现出与硅基晶体管不同的电学特性,只用传统方法测量其电流电压曲线难以对其电学性质进行准确表征。因此,报告对造成非理想特性的因素进行整理,并对其特性参数的测量方法进行初步探讨。

奥林巴斯光学显微镜和手持式荧光光谱仪在半导体行业的应用

随着半导体技术的发展,相关电子器件和半导体材料也在加速发展。其中,电子元器件在向着小型化、多功能化和集成化的方向发展。技术变革也对电子元器件和材料的研发/检测工作提出了新的要求和挑战。奥林巴斯的数码显微镜DSX1000和激光共聚焦显微镜OLS5100帮助您实现微观形貌表征和量测。另外为半导体设备厂商提供光学组件,方便集成设备,节省研发时间并保障光学质量。

XRF是一项快速高效的检测手段, 可以在短时间内为用户提供准确的化学成分分析。Olympus公司的Vanta系列手持式光谱仪,可以为半导体行业的客户提供相应的分析检测解决方案。 利用XRF技术可以对半导体设备、原料的可靠性进行确认,提升制造生产的效率并且使客户对成品更加有信心。在本次的报告中将会从XRF的基础开始, 分析和说明我们是在哪些环节、以及是如何为客户提供有效的解决方案的。

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