环境测试舱规程

洁净室的构成及等级要求介绍

洁净室是指将一定空间范围内空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除，并将室内温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计的房间。也就是不论外在之空气条件如何变化，实验室内均能俱有维持原先所设定要求的洁净度、温湿度及压力等性能的特性。根据洁净室洁净度的不同又将其划分为几个级别：微流控芯片加工实验室通常要求在洁净环境中，实验室中高温炉区、等离子区、测试区等要求达到千级等级；光刻、匀胶、显影工艺要求在百级超净间进行。实验室组建主要包括洁净室和外设系统的建设。洁净室的构成是由下列各项系统所组成（在所组成的系统分子中是缺一不可的），否则将无法构成一完整且品质良好的洁净室：1. 天花板系统：包括吊杆、纲梁、天花板格子梁；2. 空调系统：包括空气舱、过滤器系统、风车等；3. 隔墙板：包括窗户、门；4. 地板：包括高架地板或防静电舒美地板；5.&.......

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