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光学设备镀膜机

2021.10.19

多功能真空镀膜机是一种用于物理学、材料科学、电子与通信技术领域的工艺试验仪器,于2019年11月22日启用。

主要功能

系统可镀镀制各种介质膜、光学膜、透明导电膜、铁电薄膜等如:各种金属钛、铂、金等、常见氧化物、si, al2o3, tio2, sio2,氧化铪等,以及半导体激光器常见膜系,如高反膜,减反膜等。 系统可蒸镀最多6种有机材料如:c60、npb、tpbi等材料;设备可与手套箱对接方便在手套箱中操作,采用前滑动开门结构。

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