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莱卡电子显微镜操作步骤

徕卡显微系统(上海)贸易有限公司

2020.9.11

电子类样品检测手段多种多样,其中扫描电子显微镜检测不仅观察样品表观形貌,通过制样设备可实现对内部指定点或区域的观察分析,就目前来说电镜观察手段及观察方法渐趋成熟,但制样手段及手法仍有许多值得探究,在这里简单介绍下简单易操作的制样方法。

下图是经常遇到的几个电子类材料的类型,线路板pcb,led,oled等,从材料角度来说,基本为复合材料(金属/玻璃/硅/聚合物,填料);大多为软硬结合材料;大多为分层结构;多为局部器件的平整面获取和分析。

图1.电子材料部分类型举例

一般根据样品形状大小,分析观察需要,可采用三种方式制备样品:

样品较薄或待分析结构位于表面10微米左右,可用胶加以保护并采用徕卡精研一体机em txp配合其光学显微镜观察,切到目标位置附近,再做简单磨抛处理后,采用徕卡三离子束em tic 3x进行离子束的切磨处理;

若样品较厚,且观察区域较大......

......

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