激光干涉仪的测量方法
2021.4.29
雷尼绍激光干涉仪测量回转轴精度时，需要转台附件（xr20-w）配合使用，此外还需要使用角度干涉镜。如果你使用的是有线转台附件（rx10），则还需要使用角度反射镜。
测量回转轴精度时，
第一步，需要将转台附件的中心，与回转轴中心对齐（偏差在1mm之内）。
第二步，搭好光路。
第三步，可以运行测量软件进行测量。
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激光干涉仪
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