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氦质谱检漏仪技术参数

2021.10.12

最小可检漏率: 5×10-12pa·m3/s

漏率显示范围: 1×10-3~1×10-12pa·m3/s

启动时间: ≤5min

响应时间:<2s

检漏口最高压力: 300pa

极限真空: 5×10-4pa

外形尺寸: 560(w)×420(d)×300(h)

重量:46kg

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