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美国SVT超高真空磁控溅射系统

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参考报价: 面议 型号: SMART-2
品牌: 暂无 产地: 暂无
关注度: 236 信息完整度:
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AI问答
可以做哪些实验,检测什么? 可以用哪些耗材和试剂?
美国SVTA公司推出zei具智能化的镀膜设备。
磁控溅射领域zei新突破,实现磁控溅射方式的变革,为磁控溅射增添新的发展空间,是磁控溅射方式的zei新探索。

技术参数:
磁控溅射系统
4-6个磁控靶台
DC源
RF源
Ar气气氛控制
真空度10^-10Torr
1"-4" Substrate

 

 



主要特点:
超高真空磁控溅射
全部配备国外zei先进泵组保证稳定的真空
稳定工作状态
实现磁控溅射方式的分子级薄膜生长

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