蒸发设备：蒸发Ei系列 ei-501z

1.Batch式高真空蒸发设备ei系列是可对应在基板上成金属膜或氧化物膜的设备。可通过操作面板进行集中控制，实现抽真空、成膜等作业内容的集中自动化操作，适用于研究开发及少量生产
2.蒸发材料：金属，ITO，二氧化硅等材料

产品特性 / Product characteristics

• 金属，合金，非金属，化合物等材料的高品质蒸发镀膜

• 镀膜精度高，可达10E^-10m

• 蒸发镀膜的纯度高，附着力强

• 镀膜的均匀性好，重复性优异

• 配置离子源进行表面处理

• 配置热阻蒸发，省材料

• 上位通信，材料扫描功能

• C2～12inch，不定型片，方片蒸发

产品应用 / Product application

• 功率器件

• LED

• 光通信/传感器

• LD

• 高校及研究所等

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途