利用光位相干涉测试原理对测试样品进行3次元/2D检测，对样品非接触，非破坏性测试；可各种材料进行表面粗糙度，翘曲度，薄膜应力，厚度，高度，段差，宽度，体积，断面积，2D测定。。进行检测。

广泛应用于FPD（平板行业），IC封装，PCB，半导体/MEMS，工程材料表面。。。。

-测试方法：WSI/PSI

-Interferometric 物镜：5 Lens 适用 (Manual Turret)

-光源：同轴100W 钨卤灯

-扫描范围：Max 180um (option : 5mm available)

-垂直分辨率：WSI : < 0.5nm / PSI : < 0.1nm

-步进高度重复性：< 0.5% (1σ)

- 高度方向上0.1nm的分辨率

-跟倍率无关，分辨率稳定(Z轴)

-使用方法简单,测试速度快捷.

-非接触式测量，不损伤样品.

-重复性，再现性优秀

-测试简单容易

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途