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Transpector CPM 气体分析系统

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参考报价: 面议 型号: Transpector CPM
品牌: 英福康/INFICON 产地: 美国
关注度: 20 信息完整度:
样本: 典型用户: 暂无
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AI问答
可以做哪些实验,检测什么? 可以用哪些耗材和试剂?

特征概览:

  • 用于监测复杂工艺制程四极质谱分析仪系统,检测范围:0-100,0-200和0-300amu

  • 允许7天24小时连续监控,提高产品良率及产能,降低生产成本

  • 紧凑型设计可安装于每个高压强真空系统

  • HexBlock TM 取样系统使系统性能最佳化

  • 内置压力传感器(CDG),用于工艺压强监测和提供联锁保护

  • 备用可选的标准气体,用于调谐和校正

  • 封闭式离子源可阻挡腐蚀性气体和反应性气体,并可检测ppm量级的污染物

  • 重量轻,易搬运

 
应用:

  • 高压强真空系统(< 2个大气压)检漏,气体纯度,污染检测,工艺制程监控及刻蚀终点探测 (Endpoint),涉及领域:材料,传统高压强真空系统,半导体,平板显示器及太阳能等行业PVD,CVD及刻蚀系统


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注:该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案,不可用于临床诊断或治疗等相关用途

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