ADC100 直流放弧探测器

特征概览:

• 监测直流电源的电压及功率传输

• 高速采样频率，可达10万赫兹

 
应用：

• 用于探测半导体，平板显示器及太阳能等行业PVD腔体工艺制程过程中等离子体放弧（Arcing）。

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途