美国PMS LiQuilaz 液体粒子计数光谱仪

LiQuilaz是监测体积的液体光学粒子计数器，用于监测多种粒径的粒子，zei小监测粒径可达0.2µm。它能对多数制程化学品进行高精度分析，其中包括温度高达150℃的氢氟酸和其它热腐蚀性化学品。

监测体积的粒子计数器监测100%的采样量（可高达 80mL/分钟），其采样时间间隔短，不会降低统计显著性，因而这种计数器的监测精准度zei高。

1.提高产量
对粒子浓度进行实时表征和分析，以便能够对粒子污染作出迅速反应
监测样本体积，监测精度更高，适用于要求更严的制程控制
可选购的软件有报警设置、状态显示、采样设置、在线支持等功能，便于制程控制
2.应用广泛
适用于监测各种不同液体
可同压缩式或注射式采样器一起使用
适用多种管路2.标准
具有在线采样和批次采样功能
RS-485 网络兼容
3.容易使用
体积小巧，可以轻松安装在制程的任何位置
功能灵活的软件使用户能够以多种格式查看实时数据或调取数据
用户可选择粒径极限值

应用
1.采用压缩采样监测泡腾化学品
2.化学品质量保证
3.监测制程槽液
4.监测去离子水
5.化学传递系统
6.监测光刻材料

1.提高产量
对粒子浓度进行实时表征和分析，以便能够对粒子污染作出迅速反应
监测样本体积，监测精度更高，适用于要求更严的制程控制
可选购的软件有报警设置、状态显示、采样设置、在线支持等功能，便于制程控制
2.应用广泛
适用于监测各种不同液体
可同压缩式或注射式采样器一起使用
适用多种管路2.标准
具有在线采样和批次采样功能
RS-485 网络兼容
3.容易使用
体积小巧，可以轻松安装在制程的任何位置
功能灵活的软件使用户能够以多种格式查看实时数据或调取数据
用户可选择粒径极限值

应用
1.采用压缩采样监测泡腾化学品
2.化学品质量保证
3.监测制程槽液
4.监测去离子水
5.化学传递系统
6.监测光刻材料

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途