PROMETHEUS 流化床原子层沉积系统

PROMETHEUS 流化床原子层沉积系统

粉末包覆可有效提升材料性能与使用寿命，如锂电正极或负极材料，经过表面包覆处理后在放电性能及循环使用寿命方面都有明显提升，但目前工业的包覆手段以机械混合的干法为主，该方法包覆均匀性较差，性能提升有限。ALD 技术可实现高精度及均匀包覆，是理想的包覆手段。Forge Nano 针对粉末类材料比表面积大的特点，采用流化床技术实现粉末材料的流化，从而保证前驱体与粉末实现充分的接触。P 系列是 Forge Nano 针对工业包覆研发的粉末 ALD 负载系统，可实现 kg 级粉末批量包覆，是工业生产前最理想的研发工具。

产品规格

1. 前驱体通道：2-8 

2. 腔室容量：0-600ml

3. 反应器温度：450℃

4. 最高工艺温度：200℃

5. 振动流化床反应器

6. 模块：流化辅助，质谱，臭氧发生器，等离子体发生器

产品特点

P 系列是 Forge Nano 专为粉末 ALD 开发的研发级工具，可轻松实现 kg 的粉末包覆。使用流化床技术可保证粉末在反应器中的分散，有利于前驱体扩散。

流化辅助

粉末在长时间存放或流化不充分时容易出现团聚，导致无法形成理想的流化态。因此利用流化辅助模块，高剪切气流以及振动反应器的设计可冲散团聚颗粒，确保分散效果。

分区加热

所有前驱体源均可独立加热，保证最佳运输条件，这对于部分低蒸汽压的前驱体以及敏感的基底材料非常重要。P 系列也拥有独特的阀门控制系统，可以实现多通道前驱体输运。

在线监测

P 系列配置了气体在线分析系统，对 ALD 工艺的改善有较大帮助，使用者可通过气体成分判断反应的完成度。

应用

锂电池：锂电正极或负极材料的包覆可有效提升其放电性能及使用寿命。常见的 NCM 与磷酸铁锂，在表面包覆 Al₂O₃ 等氧化物薄膜后，在经过多次放电后，仍可保持较高的能量密度。

3D 打印：3D 打印粉末存在腐蚀及表面氧化的问题，会影响最终器件的性能。通过表面涂层改性，可有效延缓氧化及腐蚀。传统的包覆方式是在器件表面进行 ALD 沉积，但对于 3D 打印粉末，直接对原材料粉末改性无疑是更有效的手段。

催化：催化反应大多数是发生在材料表面的界面反应，因此对于催化剂材料进行表面构筑改性是有效的性能提升手段。利用 ALD 可以直接在粉末，纤维材料表面生长高活性纳米涂层，另一种方法是利用模板法结合 ALD 在表面构筑特定结构，暴露活性位点。此外，也可以在特定的颗粒表面进行表面包覆，防止催化剂烧结团聚。

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途