RGA系列残余气体分析仪

RGA系列残余气体分析仪

可以定量和定性分析出真空腔中残余气体的浓度和成分。

RGA系列残余气体分析仪特点

◇100，200，和300amu 
◇优于1amu的分辨率
◇6个量级的动态范围  
◇可检测5 x 10^-14Torr

◇实时RGA  Windows和LabVIEW软件 
◇质谱，泄漏检测和压力对时间方式 
◇现场可更换的电子倍增器和灯丝 
◇RS232计算机接口

RGA系列残余气体分析仪选型表

残余气体分析仪（RGA）划分为100、200、300amu三种型号，其优异的性能使其成为真空分析仪中领先产品。每一个RGA系统都由一个四级杆探针和电子控制单元组成，实时分析windows软件包可以更方便用于数据采集和分析，并可进行远程控制。

探测器类型                   标准法拉第杯(FC), 可选电子倍增 (EM)
分辨率                          优于0.5amu
灵敏度(A/Torr)              2 × 10^?4 (FC), <200 (EM).
探测极限                       5 × 10^?11 Torr (FC),
                                       5 × 10^?14 Torr (EM)
测试范围                       10^?4 Torr to UHV (FC)
                                      10^?6 Torr to UHV (EM)
操作温度                       70 °C (max.)
工作温度                      300 °C (without ECU)

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途