S48 300/HMT 数字式气体质量流量控制器

• 高精度

• 良好的线性

• 快速的响应

• 对零点漂移有效的抑制

• 电磁阀使用寿命≥100万次

• 全球化的零配件供应——传感器、分流器、精密电阻等关键部件日本进口

• 通讯接口优势

• 多台控制器可以同时运行

  
  

• 编号	项目	S48 300/HMT
  1	流量规格	(10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min； （1,2,3,,5,10，20,30,50）L/min
  2	调节阀类型	电磁调节阀
  3	调节阀静止状态	常闭
  4	安装角度	任意
  5	流量控制范围	2%～100%
  6	准确度	±1.0% S.P.(≥30% F.S.) ±0.30% F.S.(<30% F.S.)
  7	线性	±0.5% F.S.
  8	重复精度	±0.2% F.S.
  9	响应时间	≤1s
  10	工作压差范围	（0.05～0.3）MPa(<10L/min): （0.1～0.3）MPa(10～50)L/min；  (0.15～0.3)MPa 50L/min
  11	耐压	±3MPa
  12	工作环境温度	55℃～50℃
  13	精度保证温度	15℃～35℃
  14	接触气体材料	316L,PTFE,Viton或其他
  15	漏率	<1×10-8 Pa•m3/s
  16	接头	Swagelok:Φ6mm,1/4″  VCR:1/4″或其他
  17	输入信号	数字：RS232/RS485  模拟：（0～+5.00）V，输入阻抗>100KΩ VCR:1/4″3/8″
  18	输出信号	数字：RS232/RS485  模拟：（0～+5.00）V，负载能力≤3mA
  19	通讯接口	数字：RS232/RS485  波特率：4800/9600/19200Bps 协议丛机   设备号可选范围：0～15
  20	供电电源	±15V（±5%） （+15V，150mA；-15V,200mA)
  21	重量	0.9

S48 300/HMT安装尺寸图：

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途