bruker布鲁克 JV-QCVelox X射线衍射仪 XRD

bruker布鲁克 JV-QCVelox X射线衍射仪 XRD

——用于 LED 和外延层晶圆分析的生产专用高分辨率 X 射线衍射系统

产 品 概 述

Bruker’的 JV-QCVelox 是长期运行的 JV-QC 仪器中z新、z先进的 HRXRD。
它是化合物半导体行业高分辨率 X 射线衍射的专用质量控制工具。 它适用于表征所有常见的半导体衬底，包括Si、GaAs、InP、GaN 等。
测量可以部分或完全自动化运行，用户可自定义的脚本处理日常工作。

VeloMAX™ 光学器件：通过 10 倍以上的强度改进实现高生产率

JV-QC-Velox 系统的入射光束包括许多标准功能以获得高强度。 晶体选择根据材料进行了优化：

·在不损失分辨率的情况下，提高了通量并提高了可重复性。
·在不降低分辨率的情况下，可以实现比以前更快的测量和更高的精度。 这是在 MQW 分析中保持准确的成分值的关键。
·多层反射镜作为所有 JV-QC-Velox 系统的标准配置
·对于高镶嵌样品，使用 25 英寸的调节晶体发散角来增强系统（标配）
·对于传统的 III-V 系统，可以提供更高分辨率的调节晶体 (<10”) 来代替 25” 晶体（需要在采购订单上注明）
·系统的校准可以轻松安全地进行，机柜中没有开梁。

·检测器级包括许多标准功能，可以增强系统的能力
·EDRc（增强动态范围）检测器的动态范围 > 2x107
·自动衰减器，通过控制软件进行控制。这将系统动态范围增加到超过3x108

·三轴晶体是获得所需晶体的关键GaN测量的分辨率。
·电动探测器狭缝允许对系统进行控制分辨率，无需手动更换模块
·所有探测器级组件都是自动对齐的通过电脑

HRXRD 技术

材料：单晶衬底（例如 Si、GaAs、InP、GaN）和外延
层，包括多层结构
参数：层厚度、成分和松弛、应变、区域均匀性、失配、掺杂剂水平、错切、层倾斜。
·直接测量多层结构内层的松弛/应变/组成
·自动样品校准、测量、分析和报告

·由 JV-RADS 软件执行的分析。
·化合物半导体衬底可实现对称、非对称和斜对称反射

VeloSWAP: 高级样品板

运动学样品板：可以快速更换样品板——每个板都可以在几秒钟内移除/更换。 由于运动加载，安装后无需对齐板。 可以提供多个板并互换使用。
·31 x 2” 运动学样品板，用于大批量测量，以增加板重新加载之间的
时间并提高生产力和工具效率。
·外部条码阅读器可以安装到工具或独立站。

JV-QCVelox 配备机器人，可从晶圆盒进行全自动测量

·2” 至 200 毫米磁带
·自动检测晶圆盒尺寸
·任意数量插槽的任意配方组合
·提高更大晶圆尺寸的生产力
·无需人工处理晶圆，提高晶圆清洁度

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途