纳米表面轮廓仪

纳米表面轮廓仪

IMOS纳米表面轮廓仪实现了精确、定量、iso兼容、非接触式表面测量和表征微和纳米尺度的表面特征，在短短几秒钟内可捕获多达200万个数据点。选择正确的光学轮廓仪系统取决于您的应用程序的要求，包括速度、精度、垂直范围、自动化和灵活性。

IMOS光学表面轮廓仪在非接触式光学表面轮廓方面提供了强大的通用性。有了该系统，它可以方便快捷地测量各种表面类型，包括光滑、粗糙、平坦、倾斜和阶梯。所有的测量都是无损的，快速的，不需要特殊的样品准备。纳米表面轮廓仪系统的核心是部分相干光干涉技术，它提供亚纳米精度测量更广泛的表面比其他商业可用技术。

IMOS 纳米表面轮廓仪提供了不同的应用程序的特殊价值，如平直，粗糙度，波浪形，台阶高度等等。
IMOS 纳米表面轮廓仪配备了一个变焦头，可以填充离散变焦光学定制的系统。样本分段配置范围从完全自动化到完全自动化的编码行程。

IMOS 纳米表面轮廓仪提供高精度测量，易于使用，快速测量，及极具吸引力的价格，使其成为多功能3D光学轮廓仪的理想选择。

主要优点:

• 纳米模式下的Z轴分辨率:

         ~ 30pm微起伏模式(使用原子级光滑镜)

             ~ 0.3um微地貌模式下

• 外形紧凑;

• 快速响应;

• 抗外部振动;

• 测量过程自动化程度高;

• 特殊的用户友好的界面;

• 高质量的图形界面，以工作与多计划三维表示的测量结果;

• 广泛的可能性配置的显微镜，以各种形态-逻辑的测量表面;

• 能够工作在两种模式:微浮雕和纳米浮雕;

• 独特的存储系统和测量结果的系统化。

在硅基板上的Pd薄膜，高度100nm硅晶体表面的阶地，高度为0.314nm在硅基板上的Pd薄膜，高度100nm

微起伏模式下的测量结果	IMOS纳米表面轮廓仪组成
	光电探测器* 矩形ccd-1392*1040 px
	光源 *  LED (λeff = 630 nm)
	显微物镜* 20x (or 10x, 5x) 2 items 放大率不变
	压电扫描振镜
	位移台 1d (Z) range 50 mm  2d (XY) range 75x50 mm
	控制器 CCD-相机抓帧器 位移台控制器 设备控制器
硅晶体表面的阶地，高度为0.314nm
	计算机
	软件 Software for working with IMOS System / MS Windows
认证口径，标称高度值为101nm±3%	* – 按客户需求

微地貌模式下的测量结果	技术指标
	测量区域  0,4x0,3 mm2 (for 20X)
	像素尺寸  0,3 μm (for 20X)
	横向分辨率 Not worse 1 μm
	测量模式  微地貌模式 微起伏模式
认证口径, 厚 40 ± 1,2 μm
	Z轴分辨率 微地貌模式 ~ 0,3 μm 微起伏模式 ~ 30 pm (with atomically smoth mirror)
	测量范围  微地貌模式 up to 50 mm 微起伏模式 up to 20 μm
	测量速度  微地貌模式 ~ 4 μm/s 微起伏模式 ~ 20 μm/10s
衍射元件, 厚 3,7 μm