DMD无掩模光刻机

DMD无掩模光刻机 SmartPrint UV System

DMD无掩模光刻机SMART PRINT UV是一种基于DMD投影技术的无掩模光刻设备，可兼容多种光刻胶和基材。SMART PRINT UV可以生产任何微米分辨率的二维形状，而不需要硬掩模。基于改进后的标准投影技术，投影出具有微米分辨率的图像，无掩模光刻机SmartPrint无需任何进一步步骤，就能直接从数字掩模光刻出您要的图。无掩模光刻机SmartPrint主要应用是MEMS, 微流体，二维材料，自旋电子学，生物技术和微电子等领域光刻表面微纳图案。

主要特性：

兼容SU-8、i、h、g线和AZ系统光刻胶等

SmartPrint-UV配备了385 nm LED源，以兼容标准i, h和g线光刻胶，如SU8或AZ®1500系列

适用于各种各样的基材

我们的物镜范围经过精心选择，具有较长的工作距离(高达3厘米)，使SP-UV成为一种非接触式技术；除了硅、玻璃、塑料、金属等基材还可兼容非标准基材(柔性薄膜基底，非平的，厚的)。

可调直写范围和分辨率——用户可获得4种不同的直写分辨率        

特征尺寸1.5um                                                                     

兼容任何尺寸的样品，可至5平方英寸                                                      

对齐方式直观——反馈相机与第二束590nm准直光源叠加使用        

占地空间小，易维护

应用领域：

                 光器件                                                      微流控                                        微电子

指标参数：