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上海瞬渺光电技术有限公司
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| 参考报价： | 面议 | 型号： | // |
| 品牌： | 半球 | 产地： | 日本 |
| 关注度： | 19 | 信息完整度： |  |
| 样本： | 典型用户： | 暂无 | |
| 供应商性质 | 总代理 | 产地类别 | 进口 |
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产品特点：
? 椭圆偏振术测量紫外光到可见光波长椭圆参数。
? 0.1nm以上奈米级光学薄膜厚度测量。
? 400波长以上多通道分光的椭偏仪，高速测量椭圆偏光光谱。
? 可自由变换反射测量角度，得到更详细的薄膜解析数据。
? 非线性最小平方法解析多层膜、光学常数。
产品规格：
| 膜厚测量范围 | 0.1nm~ |
| 波长测量范围 | 250~800nm（可选择350～1000nm） |
| 感光元件 | 光电二极管阵列512ch（电子制冷） |
| 入射/反射角度范围 | 45～90o |
| 电源规格 | AC1500VA（全自动型) |
| 尺寸 | 1300（H）×900（D）×1750（W）mm |
| 重量 | 约350kg（全自动型） |
应用范围：
■半导体晶圆
?电晶体闸极(Gate)氧化薄膜、氮化膜，电极材料等
?SiO 2、SixOy、SiN、SiON、SiNx、Al 2 O 2、SiNxOy、poly-Si、ZnSe、BPSG、TiN
?光阻剂光学常数(波长色散)
■化合物半导体
?AlxGa (1-x) As多层膜、非结晶矽
■平面显示器
?配向膜
?电浆显示器用ITO、MgO等
■新材料
?类钻碳薄膜(DLC膜)、超传导性薄膜、磁头薄膜
■光学薄膜
?TiO 2、SiO 2、多层膜、抗反射膜、反射膜
■平版印刷领域
?g线(436nm)、h线(405nm)、i线(365nm)、KrF(248nm)等于各波长的n、k值评价
应用范例：
非线性最小平方法比对NIST标准样品(SiO 2)膜厚精度确认
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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途
