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Q300T T Plus–三靶溅射镀膜仪,适用于200mm直径的试样
Q300T T Plus是一种大腔室涡轮泵溅射镀膜系统,非常适合溅射单个直径高达8〃/200mm的大直径试样或多个直径相似的较小试样。非常适合薄膜应用和SEM/FE-SEM应用。它配备了三个溅射头,以确保单个大样本或多个样本的均匀镀膜。
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Q300T D Plus –双靶顺序溅射镀膜仪
Q300T T Plus 三靶溅射镀膜仪
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