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苏州西恩士工业科技有限公司
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| 参考报价： | ￥面议 RMB（人民币） | 型号： | MX61/MX61L |
| 品牌： | 奥林巴斯 | 产地： | 日本 |
| 关注度： | 26 | 信息完整度： |  |
| 样本： | 典型用户： | 暂无 |
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MX61L/ MX61, 300 mm/200 mm半导体检查显微镜通过各种观察方法--明视场法、暗视场法、微分干涉法（DIC）、荧光法、红外线法和深紫外线法，保证了卓越的图像分辨率和鲜明度。
考虑了检查效率的设计
主要操作集中配置在前面板上
前面板
[1] 照明强度旋钮
[2] 物镜倍率切换
[3] 孔径光阑调节
在对比度的决定上起重要作用的孔径光阑（AS）的开闭调节，与物镜的切换和观察模式连动，用一个按钮就可以操作。此外，用一个手指就可以调光的旋钮也配置在前面板上，从而提高了检查速度。物镜和孔径光阑（AS）的按钮分别斜向配置，手不离开对焦手柄，只要轻动大拇指就可以操作。这个按钮的倾斜式设计提高了手指尖的感知度，能够防止错误操作。
观察姿势迅速到位的倾斜镜筒
倾斜镜筒示意图
为了适应视点而调整座椅的高度，或是以不合理的姿势进行检查的话会浪费时间，降低工作速度。但是，配备倾斜角度为0°～42°（可变高度为150 mm，SEMIS8对应）的倾斜镜筒，可采取与检查者体格无关的舒适观察姿势，甚至可以站立检查。此外，这一款镜筒拉长了从观察中心轴到观察者视点的距离，可以在较大的平台上轻松操作。
高灵敏度载物台可以迅速决定位置
内置离合器的载物台手柄
对应300 mm晶圆／17英寸面板的MX-SIC1412R2载物台有较大的透射照明范围（Y方向284mm）。另外，内置离合器的载物台手柄，可切换粗调和微调。在显微镜观察的同时能自由地移动载物台，快速完成检查。
鲜明图像和卓越的分辨率为特点的光学系
多种选择可实现卓越的成像性能
物镜是涉及到样品的照明和观察的重要部件，奥林巴斯有应对多种多样的观察方法、长工作距离、红外光及LCD检查用的齐全的物镜产品阵容可供选择。
观察影像实例
明视场观察
暗视场观察
微分干涉观察
荧光观察
| 丰富的产品阵容，可按需选择 | |
| MPLAPON | 平场复消色差透镜 |
| MPLFLN | 平场半复消色差透镜 |
| MPLFLN-BD | 明暗视场用平场半复消色差透镜 |
| MPLFLN-BDP | 反射偏振光用平场半复消色差透镜 |
| LMPLFLN | 长工作距离平场半复消色差透镜 |
| LMPLFLN-BD | 明暗视场用长工作距离平场半复消色差透镜 |
| MPLN | 平场消色差透镜 |
| MPLN-BD | 明暗视场用平场消色差透镜 |
| SLMPLN | 超长工作距离平场消色差透镜 |
| LCPLFLN-LCD | 液晶长工作距离平场半复消色差透镜 |
软件方案
实现数字成像
MX61L配备了PC界面，可以读取显微镜的电动功能。因此，捕获影像时可以自动保存物镜倍率，为日后处理和分析影像提供可靠的影像信息。
使用数码照相机记录和保存数码影像
三目镜筒可以安装数码照相机。可以保存和记录数码影像，帮助创建观察报告。可依据用途从图像质量、功能、使用方便性等方面选择数码照相机。
支持缺陷检测的多种功能
快速切换物镜，提高检查速度
电动物镜转换器示意图
电动物镜转换器的切换速度比原来提高了20%。物镜的切换，可以操作按钮瞬时间完成，提高了检查速度。三种洁净类型的物镜转换器可以按需选择。另外，UIS2物镜大幅度地提高了高倍率的偏心精度。即便是有小尺寸摄像元件的CCD摄像机，在切换倍率时也不会由视场中心附近偏离。
变换物镜，孔径光阑（AS）也随之调节
AS自动调节示意图
每次变换物镜时都需要调节孔径光阑（AS）的话，会影响检查速度。MX61L对每个物镜都可以设置观察方法和AS（14级），只要切换物镜就能以最合适的对比度进行观察。在变换物镜和切换观察模式时不再需要花时间调节AS，提高速度的同时减轻了操作员的疲劳。
帮助实现多种观察的附件
安全快速的搬运晶圆
自动晶圆搬送机AL110（200 mm规格）组合
MX61L能与自动晶圆搬送机组合，组合后的尺寸也被设计得很小。能够无接触、安全和快速的执行从内面的宏观检查到微观检查等多种任务。此外，晶圆盒还可以从前面轻松设置。如果使用选件的遥控器，那么不良晶圆的登录、开始和保存都可以在手中快速完成。
近红外线观察单元
由可见光线领域到近红外线领域的像差校正物镜，和红外线用超广角三目镜筒等，对应近红外线的装置备有各种型号。在晶圆凸出物接触面等的观察上发挥威力。
近红外线观察单元
粘合衬垫
荧光观察单元
在滑杆上追加镜子装置可以对应荧光观察。备有U.B.G激励的反射镜装置，可有效地检查和分析有机EL和残留光刻胶。
荧光镜单元
荧光观察
透射照明单元
透射照明单元
对应光掩模和FPD检查的透射照明单元。偏振光片的搭载，实现了透射简易偏振光观察。有通用的A型号和高NA（数值孔径）的B型号两种型号。
| 半导体／FPD检查显微镜 规格 | MX61L | MX61 | |
| 光学系统 | UIS2光学系统（无限远校正） | ||
| 机身 | 观察方法 | 明视场/暗视场/微分干涉/简易偏振光/荧光 | |
| 反射/透射 | 反射/透射 | ||
| 照明装置 | 机身一体型（明视场，暗视场＋1选件） | ||
| 照明系统 | 反射照明 | 100 W卤素/100 W水银/75 W氙 | |
| 透射照明 | 纤维光导 | ||
| 对焦单元 | 电动/手动 | 手动 | |
| 行程 | 32 mm | ||
| 分辨率/微调灵敏度 | 微调旋钮转动1周移动0.1 mm | ||
| 最大样本高度 | 30 mm | ||
| 物镜转换器 | 电动型 | 明视场微分干涉6孔 | |
| 明暗视场微分干涉5孔 | |||
| 明暗视场微分干涉6孔 | |||
| 明暗视场微分干涉中心输出5孔 | |||
| 手动式 | - | ||
| 载物台 | 行程 | 14×12英寸右下手柄： 356（X）×305（Y）mm （透射照明范围356×284 mm） | 8×8 英寸右下手柄： 210（X）×210（Y）mm （透射照明范围189×189 mm） 6×6 英寸右下手柄： 158（X）×158（Y）mm |
| 观察筒 | 广角视场 （视场数22） | 倒置 | 双目/三目观察筒 |
| 正像 | 三目观察筒 | ||
| 超宽视场 （视场数26.5） | 倒置 | 三目观察筒 | |
| 正像 | 倾斜三目观察筒 | ||
| 附件单元 | IR单元/电动载物台/自动装载 | ||
| 外形尺寸 | 710（W）×843（D）×507（H）mm （标准组合） | 509（W）×843（D）×507（H）mm （标准组合） | |
| 重量 | 51 kg（标准组合） | 40 kg（标准组合） |
奥林巴斯进口MX61/MX61L工业检测金相显微镜信息由苏州西恩士工业科技有限公司为您提供，如您想了解更多关于奥林巴斯进口MX61/MX61L工业检测金相显微镜报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。
注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途
