发射扫描电子显微镜ReguluS

现有机型SU8240,SU8230,SU8220及SU8010重新整合，衍生而成Regulus8240、Regulus8230、Regulus8220、Regulus8100。

"Regulus系列"继承了现有机型的观察和分析性能，配备SU8200系列的低噪音冷场发射电子枪*1，可以获得高稳定的束流。

通过优化电子光学系统，Regulus8240/8230/8220在1 kV条件下分辨率提高到0.9 nm，Regulus8100的分辨率提高到1.1 nm，观察性能与现有机型相比提高了20％左右。

此外，为充分发挥超高分辨的能力，放大倍率也从过去的100万倍提升到200万倍*1。
Regulus8240/8230/8220/8100还完善了用户支持功能，通过此功能用户更容易理解各种复杂信号的检测原理，帮助用户充分发挥仪器的最佳性能。

• *1

• 仅限Regulus8240/8230/8220

特色
 

• 沿用"SU8200系列"的冷场发射电子枪*2

• 采用电子束在Flashing后出现的高亮度稳定区域作为稳定观察的区间，使得低加速电压条件下兼备高分辨观察和分析的最佳性能

• 与现有机型相比分辨率提高了20％左右
  (Regulus8240/8230/8220: 0.9 nm/1 kV、Regulus8100: 1.1 nm/1 kV)

• 采用污染小、高真空样品仓

• 运用能量过滤器(选配)，可观察到多种成分对比度*2

极低着陆电压下高分辨观察

样品：金颗粒
着陆电压：10 V

超高分辨观察

样品：Pt催化剂
加速电压：30 kV

低加速电压下高分辨EDX分析

样品：Sn球
着陆电压：1.5 kV

• *2

• 仅限Regulus8240/8230/8220
  
  规格

  项目	Regulus 8100	Regulus 8220	Regulus 8230	Regulus 8240
  二次电子分辨率	0.8 nm （加速电压15 kV） 1.1 nm （着陆电压1 kV）*3	0.7 nm（加速电压 15 kV） 0.9 nm（着陆电压 1 kV）*3
  着陆电压	0.1～2 kV	0.01～20 kV
  放大倍率	20～1,000,000倍*4	20～2,000,000倍*4
  样品台	样品台控制	3轴马达台（可选5轴马达台）	5轴马达驱动
  移动范围	X	0～50 mm	0～50 mm	0～110 mm	0～110 mm
  Y	0～50 mm	0～50 mm	0～110 mm	0～80 mm
  R	360°
  T	-5～70°
  Z	1.5～30 mm	1.5～40 mm
  再现性	-	-	-	±0.5 μm以下含±0.5 μm

   

• *3

• 减速模式下观察

• *4

• 以127 mm × 95 mm底片为基准的倍率

• 
  

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途