其它通用3D形貌测试仪

卓立汉光研发了一款3D形貌测试仪，采用了非接触式线光谱共焦快速扫描技术，能够高精度还原产品的3D结构，对肉眼不可见的结构缺陷都能准确检测。这款仪器具有较快的扫描速度、微米级别的精度和超强的稳定性，因此广受精密生产商欢迎。主要应用领域包括精密铸件、精密点胶、3D玻璃，半导体缺陷检测和多层光学薄膜厚度检测。随着电子产品的小型化发展，对器件加工尺寸及工艺的容差要求越来越高，这为我们提出了新的检测挑战。而我们的3D形貌测试仪应运而生，正是多年光谱技术应用研发的成果。 (专利号：CN207556477U)
该技术具有以下优点：

优点/技术/项目

线性共焦光谱技术

点测技术

激光扫描

3D相机


速度

1000line/s

1000point/s

1000line/s

多角度拍照快


扫描宽度

6.5mm/20mm

点

可选

大


分辨率

1um

1um

30um

100um


界面层数

多层

多层

表面

表面


建模

否

否

否

是


数据量

大

大

少

少


3D形貌测试仪主要特点包括：

1、非接触性测量；

2、线扫描，高效率；

3、微米级精度；

4、满足透明面及高对比度表面测试；

5、支持二次开发；

主要应用：

1、精密部件3D尺寸及段差测试；

2、精密点胶胶线截面、胶线宽度、胶线高度测试；

3、3D玻璃缺陷检测；

4、半导体表面缺陷测试；

5、多层薄膜厚度测试；

磁盘探头形貌扫描测试手机边框段差测试3D形貌测试仪产品型号及规格


HawkEye-1300

HawkEye-5000


方式

共焦光谱

共焦光谱


精度

1um

8um


重复性

±0.3um

±4um


线扫宽度

6.5mm

20mm


Z轴量程范围

1.3mm

5mm


扫描速度

300line/s(Max:1000line/s)

300line/s(max:1000line/s)


重量

5Kg

8Kg


尺寸

460X300X140mm

460X300X140mm

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途