显微分光膜厚仪OPTM 系列卓立汉光

使用显微分光膜厚仪测量薄膜厚度是十分便捷的。这款仪器集成了所需的功能，可以通过显微光谱法测量多层膜的绝对反射率和光学常数，测量速度极快，只需1秒钟。此外，它还具有广范围的光学系统（紫外至近红外）和安全的传感器，易于使用。不仅如此，它还支持各种客制化需求，适用于各种情况。

具体型号有OPTM-A1、OPTM-A2和OPTM-A3，波长范围分别为230~800nm、360~1100nm和900~1600nm，而膜厚范围则分别为1nm~35μm、7nm~49μm和16nm~92μm。测定时间为1秒/1点，光斑大小为10μm（小约5μm）。不同型号的光源和感光元件等参数也有所不同。

通过测量项目：绝对反射率、多层膜解析和光学常数分析，可以测量各种膜的厚度。例如SiO2（二氧化硅）或SiN（氮化硅）作为绝缘膜。这些测量对于绝缘膜的性能和精确的工艺控制至关重要。

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途