磁控溅射镀膜机 - 紧凑，适合科研，极高性价比！

型号：AP-MMS1

产地：韩国原装进口

仪器特点：

1/ 沉积材料：金属、氧化物等；

2/ 膜厚均匀性：≤ ± 5 % (4英寸基底)；

3/ 沉积方式：直流磁控溅射，射频磁控溅射；

4/ 极限真空：5.0 x 10 ^-6 Torr；

技术规格：

1/ 最大样品尺寸：6英寸；

2/ 基底旋转：0~10rpm；

3/ 不锈钢腔体，ID250 x H300 mm；

4/ 真空泵：机械泵，150L/Min；

5/ 靶枪：2英寸直径 (选配：3英寸)；

6/ 直流电源：2KW(800V - 2.5A)；

7/ 气体传输模块：MFC控制，氩气，100sccm；

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途