CS200质量流量计/质量流量控制器

   CS200数字质量流量计/质量流量控制器，该产品的各项技术指标均严格按照SEMI标准，相对模拟产品有使用便捷、可实现功能多、易于通讯、扩展性和可兼容性强等诸多优点。 可以应用到对各种气体进行测量和控制，除测量外还可以精密控制气体的质量流量，质量流量计（MFM）可以精密测量气体的质量流量。

其产品特点有

1、数字化，全金属密封；
2、高精度，快响应；  
3、极低零漂及温漂； 
4、良好的兼容性

核心技术指标
1、数字模拟信号兼容；
2、精度:±1.0% S.P. （≥35% F.S.） ±0.35% F.S.（＜35% F.S.）；
3、响应时间：  ≤0.8sec；
4、零点漂移：<0.6%F.S/年；
5、流量规格：2sccm-50slm；
6、输入信号: RS232/485 & DeviceNet, 0-5V,0-10V,4-20mA；
7、EMC 抗电磁干扰：CE。

应用领域 
用于对气体的质量流量进行精密控制和测量。它们在半导体集成电路工艺、特种材料、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途