400-6699-117转1000
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诚信认证:
工商注册信息已核实!参考报价: | 面议 | 型号: | AS-One systems |
品牌: | Annealsys | 产地: | 法国 |
关注度: | 11 | 信息完整度: | |
样本: | 典型用户: | 暂无 | |
仪器类型 | 升降炉 | 价格范围 | 30万-50万 |
升温速度(达到最高温) | up to 200°C/s | 内部尺寸 | Up to 100 mm diameter (4-inch) Up to 150 mm diameter (6-inch) |
加热方式 | 红外加热 up to 200°C/s | 最大功率 | 30 kW (34 kW) |
控温精度 | +-1% | 最高温度 | 标准配置:up to 1250°C 高温配置;up to 1450°C |
仪器类型 | 升降炉 |
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AS-One系统有两种型号: AS-One 100 系统或AS-One 150 系统
该快速退火炉是专门为满足大学、研究实验室和小规模生产的需求而研制的,高可靠且性价比高。
该工艺室采用贝壳式设计,可完全进入底板,方便装载和卸载基板,并允许实际清洁腔体
快速数字PID温度控制器在整个温度范围内提供精确和可重复的热控制。
特征: | |
基本尺寸: | Up to 直径100 mm (4-inch) for AS-One 100 Up to 直径150 mm (6-inch) for AS-One 150 Small substrates using susceptors |
工艺腔体 | 运用不锈钢冷腔室壁技术 |
温度范围 | 标准配置:最高达到1250°C 高温配置:最高达到1450°C |
温度控制 | 标准配置:热电偶和高温计用来测量温度 快速数字PID温度控制器在可获得精确的和可重复的热控制 |
真空和气体 | 最多可达5路带MFC的工艺气体,一路清洁气体 |
电脑控制 | 全PC电脑控制,每个配方最多100步骤 全数据记录与处理历史的人机界面设计 |
选项: | |
石墨托盘/碳化硅涂层托盘/粗真空泵和涡轮泵/快速冷却系统/其他套件 | |
应用: |
● 快速热退火
● 快速热氧化
● 扩散/接触时退火
● 化合物退火
● 结晶或致密化
我公司专业销售Annealsys产品,并提供Annealsys产品的售前售后服务,如您对Annealsys产品感兴趣,欢迎前来咨询!
快速退火炉信息由德国韦氏纳米系统German First-Nano System为您提供,如您想了解更多关于快速退火炉报价、型号、参数等信息,欢迎来电或留言咨询。
注:该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案,不可用于临床诊断或治疗等相关用途