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快速退火炉

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参考报价: 面议 型号: AS-One systems
品牌: Annealsys 产地: 法国
关注度: 11 信息完整度:
样本: 典型用户: 暂无
仪器类型升降炉价格范围30万-50万
升温速度(达到最高温) up to 200°C/s内部尺寸 Up to 100 mm diameter (4-inch) Up to 150 mm diameter (6-inch)
加热方式 红外加热 up to 200°C/s最大功率 30 kW (34 kW)
控温精度 +-1%最高温度 标准配置:up to 1250°C 高温配置;up to 1450°C
仪器类型 升降炉
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AI问答
可以做哪些实验,检测什么? 可以用哪些耗材和试剂?

AS-One系统有两种型号: AS-One 100 系统或AS-One 150 系统

快速退火炉是专门为满足大学、研究实验室和小规模生产的需求而研制的,高可靠且性价比高。


该工艺室采用贝壳式设计,可完全进入底板,方便装载和卸载基板,并允许实际清洁腔体


快速数字PID温度控制器在整个温度范围内提供精确和可重复的热控制。


特征:

基本尺寸:

Up to 直径100 mm (4-inch) for AS-One 100 

Up to 直径150 mm (6-inch) for AS-One 150 

Small substrates using susceptors

工艺腔体
运用不锈钢冷腔室壁技术
温度范围
标准配置:最高达到1250°C

高温配置:最高达到1450°C

温度控制

标准配置:热电偶和高温计用来测量温度

快速数字PID温度控制器在可获得精确的和可重复的热控制

真空和气体
最多可达5路带MFC的工艺气体,一路清洁气体
电脑控制

全PC电脑控制,每个配方最多100步骤

全数据记录与处理历史的人机界面设计

选项:

石墨托盘/碳化硅涂层托盘/粗真空泵和涡轮泵/快速冷却系统/其他套件




应用:

          ● 快速热退火

          ● 快速热氧化

          ● 扩散/接触时退火

          ● 化合物退火

          ● 结晶或致密化







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注:该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案,不可用于临床诊断或治疗等相关用途

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