匀胶机

匀胶机(SPIN COATER/SPINNER)
SAWATEC AG成立于1996年。创始人Sawatzki父子将两人在半导体行业长期积累的经验与技术完美的结合，设计制造出一系列半导体相关设备。并以其可靠的，完美的性能，得到业界的好评。
SAWATEC AG 是一家高科技创新型公司，所有产品都是经过精心设计的，具有高质量，高性价比等优点。供应商遍及世界各地。

产品目录
• Hotplate 热板
• Spinner 旋涂机/匀胶机
• Developer 显影机
• 全自动集成系统 Cluster-System

Spin Module SM-180-BT, Stand alone version consisting of:

 工艺控制：5.7”单色触摸屏
 工艺参数：转速（rpm），加速度,时间（s），滴胶时间（s）
 触摸屏或开始开关控制程序开始
 zei多可设置50个操作程序，每个程序zei多可设置24步
 工作完毕自动报警功能
 POM材质腔zei大适合6” 或5”x5” (176mm)样品涂胶
 工作腔盖子为玻璃盖，盖子与基片间距可调，气动控制
 3 pcs. PE 材质保护衬垫
 1 pcs. 真空卡盘, 1英寸卡盘
 基片加载方式: 手动
 基片真空固定，带安全互锁功能
 手动PET材质腔室盖，气体流速可调
 主机柜: 不锈钢
 设备尺寸: 350x510x402mm (LxBxH) (盖子合上时)
 350x510x680mm (LxBxH) (盖子打开时)
 zei大转速: 10'000 rpm +/- 1 rpm
 电源: 240 VAC 50/60Hz 15A
 脚踏开关连接插口
 真空: tube Ø6/4mm (-0,8bar)
 压缩空气或氮气, tube Ø6/4mm (3 bar)（仅带滴胶系统设备需要连接）
 废液接口：Ø12mm
 排风接口：Ø38mm (20-50m3/h)
 重量：大约 29kg 

不含滴胶装置，可选配

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途