SEM用micro-XRF 微区X射线荧光光谱仪

微区 XRF 是 SEM 中 EDS 分析的互补分析技术

• 扫描电子显微镜 （SEM）的微区 X 射线荧光 （Micro-XRF） 技术是与传统能量分散光谱 （EDS）能力补充的无损分析技术。这种分析技术对于未知样品中元素成分的表征非常重要，而未知样品的尺寸可以从厘米尺寸的不均匀样品到微米尺寸的颗粒

• X射线激发源为微量元素的检测带来了更高的灵敏度（对于某些元素，检出限可低至 10ppm）。同时，光谱范围可以拓延（高达40 keV）以及探测深度可以更深

• 配备 X 射线管，结合微聚焦 X 射线光学器件，可产生 30 μm 的小束斑和高强度通量

• 模块化基于压电的样品台，专门设计用于安装在现有SEM 样品台上，使大面积高速元素X射线面分析"飞一样地"运行， 速度高达4毫米/秒。这使得在 50 x 50 mm（或更大）的样本面积上采集 X 射线面分布数据成为可能。同时，轻元素光谱数据以及微量元素和/或更高能量的 X 射线数据也纳入快速且用户友好的工作流中

• X射线激发的样品深度更深，这让多层系统的表征成为可能。1 nm 到 高达40μm 的薄膜样品均可以分析，而这是用电子束源激发无法实现的

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