PicoFemto扫描电镜SEM纳米力测量系统

PicoFemto SFP3 SEM纳米力测量将纳米压痕仪集成进扫描电镜中，使用户可以在扫描电镜中进行原位纳米压痕研究。

PicoFemto SFP3 SEM纳米力测量将纳米压痕仪集成进扫描电镜中，使用户可以在扫描电镜中进行原位纳米压痕研究。该系统由一个三维压电驱动的样品台和一个纳米力测量探针组成。样品安装方式灵活多样，可在三维纳米位移台的驱动下，达到超过5 mm的准确定位，定位分辨率优于100 nm，以使待测量区域准确对准力探针。

力探针同样由压电驱动，在轴向达到100 um的伸缩长度，位移分辨率优于0.25mm。由力传感器准确测量所施加的力的载荷，可测拉力和压力。并有不同的最大量程的力传感器可选配，达到很好的测量效果。通过搭配电学、光学、加热等模块，该产品还可以实现包括原位力/热耦合、力/光耦合、力/电耦合、力/热/晶体取向耦合等多场耦合研究。

PicoFemto SFP3 SEM纳米力测量系统基本技术参数表



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部分国外用户

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途