显微镜:第三代平板式、全闭环先进扫描技术平台
1.扫描器:横向(X-Y)范围90um×90um;竖直(Z)范围15um (标配型)或者40um(选配型)
2. 噪声:垂直(Z)方向上的RMS值<0.3埃 (平均偏差 (Adev) 在0.1Hz-1kHz 带宽)
3. 样品大小:直径≤100mm, 厚度≤20mm
4.控制器:全数字化、模块化、可编程控制器,其数据处理能力仅仅受限于计算机的的内存大小(允许连续一千万点力曲线和>8190x 8190点高密度像素成像)。允许在5MHz的速度下连续获得200万以上的数据。
5. MFP-3D可以实现全面的SPM表面表征技术,包括:
•轻敲模式(Tapping Mode AFM)-拥有Q-control控制技术
•接触模式(Contact Mode AFM)
•定量相位成像模式(Phase Imaging)
•横向力模式(Lateral Force Microscopy, LFM)
•磁场力显微技术(Magnetic Force Microscopy, MFM)
•扫描隧道显微技术(Scanning Tunneling Microscopy, STM)
• 力调制(Force Modulation)
• 静电力显微技术(Electric Force Microscopy, EFM)
• 表面电势显微术(Surface Potential Microscopy)
• 动态和静态力曲线测试(Force-Distance)
•力阵列测量(Force Volume Measurement)
• 纳米压痕/划痕(Nanoindenting/Scratching)
• 超高分辨率导电显微技术(ORCA)
• 压电响应模式(Piezo Response Force Microscopy, PFM mode)
独有zl技术
•高次谐波成像模式(Dual AC Mode)
• 分子力力谱模式(Molecular Force Spectroscopy)
• 高压压电力模式(HV-PFM)
• 能带激励显微技术(Band-Excitation)
•双频共振追踪压电模式(Dual frequency resonance tracking)
•洛伦茨力驱动轻敲模式(I-DriveTM)
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