技术参数:
PDHID对硅烷中气体杂质检测限(ppb)
H2 O2+Ar N2 CO CH4 CO2 C2 C3 SimHn
50 50 50 50 20 20 20 20 50
二、技术参数:
1、检测限(ppb):
一般杂质 | ||||||
杂货种类 | H2 | O2(Ar) | N2 | CH4 | CO | CO2 |
检测限 | 5 | 10 | 10 | 5 | 25 | 5 |
2、温控指标:
柱 箱:室温上8℃-400℃ 精度±0.1℃
进 样 器:室温上8℃-400℃ 精度±0.1℃
检 测 器:室温上8℃-400℃ 精度±0.1℃
温控数量:八路
程序升温:八阶
升温速率:1℃~40℃
降温速度:7分钟以内(350℃到50℃)
3、氦离子化检测器(PDD):
放电模式:脉冲放电
基线噪声:≤0.1mv
基线漂移:≤0.5mv/30min
检测限:≤1.0×10-10g/ml
4、载气纯化器:
可纯化气体:He、Ar、Ne、Kr、Xe、Rn
大操作压力:1000Psi
去除气体:H2、O2、N2、CO、CO2、CH4、H2O、NO、NH3、CF4等
残留浓度:≤10ppb
5、工作站性能:
通讯接口:RS232/USB接口
高精度:24位的高精度A/D
分辨率:±1uv
输入电平范围:-5mv至+1v
采样频率:最高20次/秒
动态范围:106
积分灵敏度:1μv•sec
线性度:<±0.1%。< span=““>
重现性:0.06%。
6、其他参数:尺寸、重量、电源
尺寸:宽655mm×高500mm×深480mm
重量:~48kg
电源:220V±22V,50Hz,功率≥2kW
经销商
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