分辨率:1.0 nm at 15 kV 1.7 nm at 1 kV 4.0 nm at 0.1 kV
加速电压:0.1 - 30 kV
放大倍数:12 - 900,000x
探测电流:4 pA - 20 nA
电子枪:热场发射
标准探测器:镜筒内置式In-Lens二次电子探测器和EsB探测器，样品室内AsB探测器和ET探测器
图象处理:7种积分和平均模式
系统控制:基于Windows® XP的SmartSEM™
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经销商
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