脉冲电子沉积(PED)
直达仪器谱山东-济南 高真空脉冲激光溅射薄膜沉积腔体
发布时间：2023/12/11
类型：中标通知
高真空脉冲激光溅射薄膜沉积腔体(GY202309406)自购结果公示
发布时间：2023-12-11
该项目经自行采购程序，允许自购：
| 供应商： | 山东跃骏智能科技有限公司企业信息 |
|---|---|
| 中标金额： | 458000 |
| 公示开始日期 | 2023-12-11 | 公示截止日期 | 2023-12-12 11:49:25 |
|---|---|---|---|
| 采购单位 | 物理学院 | 付款方式 | 合同签订后预付50%，货到验收合格后凭验收报告支付剩余尾款。 |
| 签约时间要求 | 到货时间要求 | ||
| 收货地址 | 山东大学中心校区环境楼107 | ||
采购清单 1
| 采购物品 | 采购数量 | 计量单位 |
|---|---|---|
| 高真空脉冲激光溅射薄膜沉积腔体 | 1 | 台 |
| 品牌 | 沈科仪 | 规格型号 | PLD450 |
|---|---|---|---|
| 技术参数 | "项目用途、简要技术要求及合同履行日期等极限真空度：镀膜室≤6.6*10-7Pa(经烘烤除气后) 进样室≤5X10-2Pa (经烘烤除气后) 抽速 1.镀膜室从大气开始抽气：20分钟可达到5*10-3Pa 2.进样室从大气开始抽气：5分钟可达到10Pa 保压性能:系统停泵关机12小时后真空度：≤10Pa 真空室 1.双室结构； 2.镀膜室前开门结构； 3.进样室上开盖结构； 4.优质304不锈钢材质； 5.镀膜室尺寸：Ф450mm； 6.进样室尺寸：约φ150mm*300mm； 7.具备腔外照明功能； 8.激光入射口到地面的距离为1200mm； 9.石英玻璃窗口：RF63，1块（可透过紫外248nm波段的JGS1石英玻璃，供激光入射使用）。 10.RF50红外石英玻璃窗口：1块（透过红外波段JGS3石英玻璃，供红外测温使用）； 11.预留过渡室接口、RHEED接口 进样室 1.新型磁力样品传送杆，传送距离约700mm：1套；（手动操作）； 2.样品库组件：1套；（5个位置） 3.压力表，放在进气角阀外：1套； 4.RF100两用活开门：1套（其上有铰链、锁紧件、φ60观察窗）； 5.盲法兰：CF16、CF35各1个； 6.旁抽角阀： CF35 1个； 7.低真空规： CF16 1个； 8.电离规： CF35 1个； 9.电极引线： CF16 1个； 10.气动插板阀：CF100 1个； 旋转靶台 1.靶台采用下部安装设计，靶材表面朝上； 2.一次可以同时安装6块靶材，靶材最大尺寸1英寸；（客户自购靶材） 3.每块靶材可实现自转，转速5～30转/分，连续可调，并显示转速； 4.靶位公转换位机构，PLC控制，编码器控制旋转精度，精度1°，可进行靶摆动，提高靶材利用率； 5.靶材屏蔽罩将6块靶材屏蔽，每次只有一个靶材露出溅射成膜，以避免靶材之间的交叉污染。 离子泵组件 1、400L/S离子泵1台。 2、CF200板阀1台。 3、过渡接口1件。 工作气路 1.镀膜室：气体流量控制器（氧气、100SCCM,氮气100SCCM、氩气100SCCM）充气阀CF16、管路、接头等：1路； 2.镀膜室：充气阀CF16、管路、接头等：1路（解除真空充氮气）。 3.进样室：充气阀CF16、管路、接头等：1路（解除真空充氮气）。 抽气组件 1.脂润滑分子泵：1台（抽速1300升/秒）； 2.气动插板阀CF200：1台（用于分子泵与真空室隔离）； 3.旋片真空泵：1台（抽速13升/秒）；（与进样室共用）； 4.电动蝶阀CF200口径（国产）软件控制气压； 复合真空计 5.镀膜室：1x105Pa-6x10-7Pa 6.进样室：1x105Pa-10-1Pa 工艺薄膜规 规格：133.3Pa 手动磁力传递 1.在真空状态下，取送基片； 2.每次只取送1片基片。 12.质保：自安装调试完成之日起13个月，免费上门安装培训。交货时间：合同签订后5个月。" | ||
| 售后服务 | 服务网点:当地;质保期限:1年;响应期限:报修后4小时; | ||
资产与实验室管理部
2023-12-11
