脉冲电子束沉积系统
tel: 400-6699-117 转 9349Neocera电子束刻蚀, 脉冲电子束沉积(Pulsed Electron Deposition)是高能脉冲(100ns) 电子束( 约1000 A,15 keV) 在靶材上穿透将近1 um,使靶材快速蒸发形成等离子体。对靶材的非平衡提取(烧灼)使等离子体的组成与靶材的化学计量组成一致。在最佳条件下,靶材的化学计量与沉积薄膜的保持一致。所有的固态材料如金属、半导体和绝缘体等都可以用PED 技术沉积各自的薄膜。
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产品型号:Pioneer 180 PED System
品牌:Neocera
产品产地:美国
产品类型:进口
原制造商:Neocera
状态:在售
厂商指导价格:未提供
上市时间: 2015-07-01
英文名称:Pioneer 180 PED System
优点:脉冲电子束沉积(Pulsed Electron Deposition)是高能脉冲(100ns) 电子束( 约1000 A,15 keV) 在靶材上穿透将近1 um,使靶材快速蒸发形成等离子体。对靶材的非平衡提取(烧灼)使等离子体的组成与靶材的化学计量组成一致。在最佳条件下,靶材的化学计量与沉积薄膜的保持一致。所有的固态材料如金属、半导体和绝缘体等都可以用PED 技术沉积各自的薄膜。
参考成交价格: 5~10万元[人民币]
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