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北京大学纳米化学研究中心

北京大学纳米化学研究中心

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超高真空变温SPM-MBE系统Omicron Multiprobe LPCVD系统Tystar –TYTAN160 扫描探针显微镜Nanoscope IIIa
扫描探针显微镜Nanoscope III 扫描探针显微镜Nanoscope E 多针尖蘸笔纳米刻蚀系统Nscriptor DPN Writer System
微区拉曼光谱仪Renishaw-1000 紫外可见光谱仪Lambda-950 荧光光谱仪PE-LS50B
红外光谱仪PE-2000 光学显微镜Olympus-DX51 PECVD系统OTF-1200X
电场辅助CVD系统Lindberg-STF55346C 高温CVD系统GSL-1700X 台式红外线灯管加热炉Mini-Lamp Annealing System Mila-3000
冷场发射扫描电镜Hitachi S-4800 微探针台电学测试系统MM6200-Keithley4200 传感器测试系统TP-302
电化学工作站CH-1660B 氙灯光源PLS-3SXE300 汞灯光源
接触角测定仪OCA-20 高效液相色谱Agilent-1100 超高真空电子束沉积系统Balzers-ULS400
电子束/热阻式真空镀膜机UNIVEX-300 光刻机BG-401A 手套箱MBRAUN Unilab
热阻式真空镀膜机ZHD-300 真空退火炉VTHK-350 反应离子刻蚀机ME-3A
划片切割机EC-400 楔焊机K&S-4523 等离子清洗机Prep2-FEMTO